UIH-3D鹵素?zé)艄庠囱b置日本INTECS

UIH-3D鹵素?zé)艄庠囱b置日本INTECS

目的，用途

UIH-3D通常，對半導(dǎo)體晶片，掩模玻璃等進(jìn)行目視檢查會發(fā)現(xiàn)劃痕，灰塵，內(nèi)部異物和氣泡。

發(fā)現(xiàn)需要技巧。開發(fā)該設(shè)備是為了方便進(jìn)行這些檢查。

通過用高強(qiáng)度的光照射物體（* 1），會產(chǎn)生切痕現(xiàn)象，并且會產(chǎn)生劃痕，灰塵等。

您可以檢查灰塵，內(nèi)部異物，氣泡等的附著力。

* 1半導(dǎo)體晶片，掩模玻璃，光學(xué)零件，透鏡等

一種用于無損測量半導(dǎo)體晶片橫截面形狀尺寸的設(shè)備。您可以測量晶圓邊緣的尺寸，角度和半徑UIH-3D

超高輝度検査用照明裝置（ＵＩＨ－３Ｄ型） 

 目視検査用の超高輝度照明裝置

ＵＩＨ－３Ｄ型仕様

※１　ランプ保護(hù)の為、主電源スイッチをＯＦＦにしてもランプハウス內(nèi)の溫度が約40℃以下になるまで
　　　 ファンによる冷卻を保持する機(jī)能

 撮像管タイプの半導(dǎo)體ウエハー斷面形狀等測定裝置（ＶＳＳＷ）をご使用のお客様に朗報！

 半導(dǎo)體ウエハーの斷面形狀寸法を非破壊で計測するための裝置でエッジの寸法、角度、半徑を測定することが出來ます。
測定可能なウエハーサイズは約２～１２インチで、ウエハー交換作業(yè)も容易に行えます

照明設(shè)備超高亮度檢查使用手冊

用于超高亮度檢查的照明裝置，型號名稱UIH（超高強(qiáng)度鹵素?zé)簦?/span>

感謝您購買該系列。

請仔細(xì)閱讀本手冊，以大程度地發(fā)揮儀器的性能。

§1。目的和整體構(gòu)成

該儀器是用于目視檢查的超亮照明設(shè)備。 UIH-1,2,3類型是常見的

用于目視檢查半導(dǎo)體晶片，掩模玻璃，光學(xué)部件等，表面劃痕，灰塵或內(nèi)部

通過照射高強(qiáng)度光來進(jìn)行潮汐檢測，以發(fā)現(xiàn)零件中的異物和氣泡

（TYNDALL）它誘導(dǎo)大象并促進(jìn)發(fā)現(xiàn)。

1H型系列不同，用于檢查拋光晶片的霧度（霧量）和照射表面

這是投射第3條的檢查標(biāo)記的方法。

至于整體配置，所有這四種類型都分為兩部分，一個是燈箱，另一個是電源單元。要么

至于支架，電源部分中只有1（H）型是自支撐式的，而第二和第三類型則使用獨立的支架。

我是。各種類型的輻照直徑，高度和角度均可自由調(diào)節(jié)。

§2。儀器特點

本儀器使用由我們專門設(shè)計和調(diào)整的特殊高強(qiáng)度鹵素?zé)?。這些

鹵素?zé)粼谑褂脮r具有用于照明，滅火和冷卻方法的*技術(shù)。

是必須的。即，如果忽略適合于燈的方法，則燈的壽命將大大縮短。因此電源

該零件旨在充分展示燈泡的功能。

鏡頭使用大直徑非球面鏡頭，并具有專門為此儀器設(shè)計的制造方法，其亮度也達(dá)到了

除了1H類型以外，由于將其設(shè)置為0.71至0.92，我們成功提高了亮度。 1個

與其他強(qiáng)調(diào)亮度的聚光鏡相比，將H型設(shè)定為具有強(qiáng)調(diào)成像的亮度。下屬

投影出具有良好分辨率的檢查標(biāo)記。此外，所有型號的設(shè)計輻射直徑幾乎都是平行的。

光束增強(qiáng)了檢查能力。

此外，應(yīng)采取所有可能的措施來散熱，尤其是對于類型2和類型3，要監(jiān)測燈室內(nèi)的發(fā)熱并發(fā)生異常。

產(chǎn)生熱量時，燈泡將被強(qiáng)制關(guān)閉。另外，請參閱附件中的外形圖。

 §３．仕様 本器の仕様は次の通りです。 尚、（ ）內(nèi)は１Ｈ型のみの仕様です。 名 稱 超高輝度検査用照明裝置 ［Ultra Intensity Halogen-light］ 形 式 ＵＩＨ－１(Ｈ) ＵＩＨ－２ ＵＩＨ－３ ラ ン プ 定 格 １５Ｖ １５０Ｗ １００Ｖ ３００Ｗ １００Ｖ ６５０Ｗ 高輝度壽命 ５０時間以上 ７５時間以上 ７５時間以上 半 輝 度 壽 命 ８００時間以上 １０００時間以上 １８００時間以上 反 射 鏡 徑 ５０mm徑放物線型ダイクロックミラー 同１００mm徑 設(shè)計照射徑と距離 ４０mmφで１８０mm ７０mmφで２００mm １００mmφで２７０mm 設(shè)計照射徑輝度 上記中央で６０萬lux（５萬lux） 同４０萬lux 同３０萬lux ５０萬lux時照射徑 約 ４５mmφ 約 ６０mmφ 約 ８０mmφ

 倍徑時距離, 輝度 ３６０mm,１５萬lux ４００mm,１０萬lux ５６０mm,７?５萬lux 輝度偏差と可変幅 高輝度偏差は上限１０％、下限２０％で可変幅は１０：１以上 レ ン ズ φ＝３８ Ｆ＝０.９２ （Ｆ＝２） φ=７０ Ｆ=０.７８ 電 源 方 式 トランス式 セミトランス式 調(diào) 光 方 式 ＳＣＲ位相制御 ＳＣＲ制御で５０／６０Ｈｚ自動切り替え ス タ ン ド 自立型 獨立型 冷 卻 方 法 強(qiáng)制空冷式 電 圧 表 示 メーター指示 ダイヤルにて設(shè)定 點 燈 方 式 ?????????に適した???????,???????方式 防熱フィルター なし １段 発 熱 監(jiān) 視 なし 異常加熱(2型約100℃ 3型約130℃)により強(qiáng)制消燈 冷卻自動スイッチ なし 消燈後一定溫度(約40℃)迄下がると自動停止 合 計 重 量 ７Ｋｇ ９Ｋｇ １３Ｋｇ 外 形 ７ページ參照 

如何組裝該儀器

如附圖所示，此系列對于三個參與方中的每個都有不同的形式。查看每種類型的圖紙

我將考慮考慮進(jìn)行解釋。

4-1組裝1（H）型在1（H）型中，電源單元也用作支架。

將較長的軸插入電源的上法蘭，然后將底部和法蘭螺釘總共固定3個點。

我會。接下來，將短軸在任何位置擰入燈箱的底板，然后用夾具將其固定。

去做。此時，請考慮重力平衡和燈罩的可加工性進(jìn)行組裝。抽水

將螺絲刀等插入門另一端的孔中以將其固定。連接器的電源插頭是電源

確保未連接并安裝完成。僅1（H）類型的大亮度

帶有調(diào)整修剪器。方法是將光量調(diào)節(jié)旋鈕“ INTENSITY”設(shè)置為“ MAXIMUM”。

將燈泡開關(guān)設(shè)置為“ LAMP ON”時，將背面的“ SUB-INTE”設(shè)置為大電壓為15V。

設(shè)置在不超過的范圍內(nèi)。出廠時已將其調(diào)整為50Hz的12V。

4-2類型2的組件類型2分為三個部分：支架，電源和燈箱。

首先，考慮到重力平衡和可操作性，將軸安裝在機(jī)架上的三個孔之一中。

與1（H）型一樣，燈罩的軸固定在底板上，并帶有夾具。

將其固定到船尾。將電源放在支架上或支架上，連接連接器，然后完成。

我會。

4-3組裝類型3與類型2一樣，類型3分為支架，電源和燈罩。

我會。至于支架的組裝，與類型2一樣，豎立軸時要考慮平衡性和可加工性。

與其他類型不同，類型3燈罩特別大，因此請注意重量平衡。

請。組裝時，將軸穿過燈箱底板上梯形金屬配件的孔，并用4個螺絲將其固定。

用夾具將其安裝到支架軸上。將電源放在支架上或支架周圍

連接Nector并完成

儀器的基本操作

由于照明方法的不同，本機(jī)的操作在類型1（H）和類型2和3之間有所不同。所有產(chǎn)品都是正確的

注意輪廓圖的照射距離和直徑。

5-1 1（H）型操作電源裝置中央的旋鈕“ INTENSITY”作為電源開關(guān)加倍，為“ PO”。

如果從“ WER OFF”將其向右旋轉(zhuǎn)，您會聽到喀噠聲，并且指示燈會亮起，并且燈泡將被預(yù)熱并變暗。

我會。接下來，將光量選擇器開關(guān)從'STANDING BY'更改為'LAMP ON'和'INTENSITY'旋鈕。

您可以調(diào)節(jié)光量。當(dāng)燈熄滅時，將光量選擇器開關(guān)設(shè)置為“ STANDING BY”以提高冷卻效果。

請在幾分鐘后“關(guān)閉電源”以擺脫它。

5-2 2型和3型的操作2型和3型的操作非常容易，操作員可以打開電源開關(guān)。

您所要做的就是按下gar開關(guān)。首先，打開電源開關(guān)“ POWER”并運行霓虹燈

Pu發(fā)出紅色光。然后按下觸發(fā)開關(guān)“ LAMP ON / OFF”，“ MONITOR”燈將點亮。

它變成綠色，并且燈箱的燈同時點亮。在這種狀態(tài)下燈箱內(nèi)部異常

加熱時，將“監(jiān)視器”更改為紅色，強(qiáng)行關(guān)閉燈泡，并在燈泡冷卻至一定程度時

此時，紅色指示燈熄滅，可以再次打開。另外，如有必要，電壓調(diào)節(jié)器“ INTENSITY”

轉(zhuǎn)。 *電源電壓為AC100V時，旋鈕位置約為9.5，這是高亮度。

要關(guān)閉燈泡，請再次按“ LAMP ON / OFF”按鈕以關(guān)閉燈泡。開啟或關(guān)閉時

關(guān)閉電源后，風(fēng)扇將繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，直到冷卻至一定溫度為止。冷卻進(jìn)度

“ MONITOR”將閃爍紅色，直到開關(guān)自動停止。

5-3聚焦調(diào)整和亮度此項目與以前的型號相同。調(diào)焦位于燈箱的頂端

轉(zhuǎn)動聚焦環(huán)進(jìn)行調(diào)整。放置工件并用光照射時，會發(fā)出圓形光。

轉(zhuǎn)動環(huán)，使其輪廓清晰可見。聚焦對于1H類型是否特別重要？

請注意照射直徑由聚焦環(huán)和照射距離決定，亮度由照射直徑和行程決定。

這取決于電壓。即，當(dāng)燈電壓恒定時的亮度與照射距離（面積）的平方相反。

成比例的。因此，如果優(yōu)先考慮亮度，則好將其設(shè)置為較小的直徑

用例和應(yīng)用

該儀器是用于目視檢查的超亮照明設(shè)備。通常半導(dǎo)體晶圓和塊

為了目測玻璃表面的劃痕和灰塵或內(nèi)部的異物和氣泡，請目視檢查玻璃等。

它要求非常高的技能。這些檢查被明亮的光線照亮

（TYNDALL）誘發(fā)現(xiàn)象并使任何人都容易進(jìn)行。

使用此設(shè)備的示例是不透明的鏡面，例如半導(dǎo)體晶片；（1）該表面暴露于一定角度的光下。

如何去除眼睛的反射光進(jìn)行檢查（2）對角向表面施加光并將反射光施加至白墻或

如何在白色天花板上投影，以及如何投影透明材料（例如玻璃）

可以同時檢查表面和內(nèi)部。另外，②使用特殊檢查方法在墻壁上使用特殊的篩網(wǎng)。

通過在樣品和樣品之間插入特殊的透鏡，可以進(jìn)一步改善效果。

當(dāng)然，這些只是一般用法示例，但是當(dāng)前情況是每個公司都使用自己的方法進(jìn)行檢查。

現(xiàn)實情況是它們本身被用作專有技術(shù)。我們建議您設(shè)計各種東西。

1H型在系列中有所不同，用于檢查拋光晶片的霧度（渾濁）量。 JIS-

在H0614的鏡面檢查方法中，采用投射燈絲的方法，但是1H

在模具中，投影了三個標(biāo)記而不是丘陵。由于此標(biāo)記的亮度不同

檢查是。也就是說，無法在完美的鏡面上看到該標(biāo)記，并且由于標(biāo)記不完整，因此看起來更好。

我會

另外，該標(biāo)記與周圍的亮度差異很大，易于進(jìn)行霧度檢查，并且除該標(biāo)記以外的其他周圍環(huán)境

由于用高強(qiáng)度光照射，因此可以同時進(jìn)行表面檢查。

§7。生活與光明

壽命是大亮度壽命和半亮度壽命的參考值，因此電源電壓

意味著它將波動很大。另外，亮度與照射面積成反比，因此壽命長。

如果您主要考慮的是，請盡可能減小照射面積，并隨燈電壓降低增加的亮度。

這將是有利的。為了延長使用壽命，請降低燈泡電壓，并且不要將亮度提高到不必要的程度。

請這樣做。

§8。使用注意事項

本節(jié)介紹使用注意事項，因此，請在充分理解后再使用很長時間。

1）燈泡是生活用品。要長期使用，請降低燈泡電壓并集中使用。

是個好主意。不要忘記準(zhǔn)備備件！ !!

1）我們已采取一切可能的措施從燈罩中產(chǎn)生熱量，但是特別是類型3產(chǎn)生的熱量為650W。

因為有，在一個小的暗室中室溫可能會升高。您需要足夠的冷卻

我們開始做吧。

3）由于長期使用，燈箱周圍會產(chǎn)生一些熱量。調(diào)焦環(huán)

觸摸外殼時請小心。

4）指示燈點亮?xí)r，請勿強(qiáng)烈沖擊。當(dāng)然，它是嚴(yán)格堅持運動的。

5）僅適用于2和3型，請在燈關(guān)閉后顯示“ MONITOR”燈時拔下電源插頭。

請不要成對拔出。當(dāng)溫度降至安全溫度時，電源將自動關(guān)閉。

6）在燈罩外蓋打開的情況下進(jìn)行照明會影響冷卻效果，并導(dǎo)致設(shè)備損壞。

請不要這樣做。

7）燈箱和電源是組合調(diào)整的，因此如果更改組合

不會滿足