canon-anelva量規(guī)BRG-1B真空計

更新時間：2024-08-01

簡要描述：

canon-anelva量規(guī)BRG-1B真空計
シュルツゲージ LG-11S／B-Aゲージ UGD-1S／ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B

型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：1147

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品牌	其他品牌	貨號	BRG-1B
規(guī)格	1	供貨周期	一個月
主要用途	量規(guī)	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,電子/電池,電氣
測量范圍	10-6～10Pa

canon-anelva量規(guī)BRG-1B真空計

電容式壓力表“M-342DG”采用小型硅MEMS芯片作為壓力傳感器，將溫度、振動和大氣壓力波動等外部環(huán)境的影響降至，從而實現(xiàn)高精度和穩(wěn)定的壓力測量。達到最小調(diào)零頻率

型　名	LG-11S	UGD-1S	BRG-1B
ゲージタイプ	シュルツゲージ	B-Aゲージ	ワイドレンジB-Aゲージ
形狀	ガラス管狀
被測定真空室との接続	φ15ゲージポート（Oリング）

用支持各種高精度、長期穩(wěn)定的真空壓力測量各種真空器件，如半導(dǎo)體、顯示器、太陽能電池等。 ? 真空成膜過程壓力控制和監(jiān)測，如濺射和PECVD ?負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導(dǎo)入工序、系統(tǒng)壓力控制醫(yī)療、生物科技、食品等行業(yè)，以及各種研發(fā)應(yīng)用各種鍍膜、等離子處理、真空密封、真空爐、分析儀、殺菌、真空泵評價、分子蒸餾等

型名	M-342DG
型名	-1D	-1N	-11	-12	-13
フルスケール圧力（Pa）	13.33	133.3	1.333k	13.33k	133.3k
測定精度（％ of reading）	0.20(at 23℃)

ゼロ點溫度係數(shù)（％ of F.S./℃）	0.01	0.005	0.002
スパン溫度係數(shù)（％ of reading/℃）	0.01		0.005
分解能（％ of Full-scale）	0.01	0.005
測定下限圧力（％ of Full-scale）	0.01
実用測定下限圧力（％ of Full-scale）	0.05