M-320XG真空計canon-anelva

更新時間：2024-08-01

簡要描述：

M-320XG真空計canon-anelva
クリスタルゲージ M-320XG（真空計）
クリスタルゲージ M-320XG

型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：843

M-320XG真空計canon-anelva

可在從大氣壓到 1 x 10-2 Pa 的廣泛范圍內(nèi)進行高度可靠的測量。由于晶體振蕩器的諧振阻抗根據(jù)壓力而變化，因此重現(xiàn)性更高，可以在大氣壓附近進行高穩(wěn)定性的測量。它可用作壓力開關，用于檢測腔室中的大氣壓力通風口，也可用于測量過程壓力

特征測量范圍廣從大氣壓到 1 x 10-2 Pa 范圍內(nèi)的測量具有出色的再現(xiàn)性。安全性高水晶真空計是一種沒有熱源（燈絲）的真空計。緊湊且超輕控制器只有手掌大小，僅重 200 克

用各種真空裝置的粗加工壓力測量各種過程的壓力測量用于檢測腔室通風口等的壓力開關。從大氣壓到10-2P*別的其他壓力測量

型　名	M-320XG
測定球	XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用）
測定圧力範囲	1×10^-2Pa～大気圧
Gas種選択	N2、Ar、H2、Air
アナログ出力（圧力信號）	DC 0-10V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定 ①Log出力 ②複合出力 ③リニア出力　フルスケール圧力レンジ選択可能（1×10¹、1×10²、1×10³、1×10⁴、1×10⁵Pa）
リモートI/O	INPUT	①ガス種設定　2bit信號で切換 ②ゼロ點調(diào)整 ③ATM設定
リモートI/O	OUTPUT	セットポイント出力2點
セットポイント	2點（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定）デジットスイッチにより設定（SP1、SP2共仮數(shù)部、指數(shù)部）
動作環(huán)境	5℃～50℃（コントローラー含む）ゲージヘッドのみの耐熱溫度150℃MAX
ゼロ點調(diào)整	PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調(diào)整
フルスケール調(diào)整	トリマーボリュームによる調(diào)整
入出力コネクタ	Dsub 15P
表示	LED 3ヶ（PWR／ALM???緑／赤の2色発光、SP1-Status???緑、SP2-Status???緑）
所要電力	DC 22V～33V、（最大消費電力2W）
外形寸法（mm）	72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず）
質(zhì)量	200g（ゲージヘッド含まず）
センサー取り付けフランジ	NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等