高分辨率線(xiàn)性傳感器 
GS-3813B / 3830B

分辨率0.1 Myuemu

• 日本小野高分辨率線(xiàn)性傳感器GS-3813B
• 日本小野高分辨率線(xiàn)性傳感器GS-3813B

左：GS-3830B 
右：GS-3813B

而GS-3813B / 3830B是亞微米線(xiàn)性量規(guī)傳感器，具有防塵和優(yōu)異的軸承和IP66G耐久性的防滴性能，這是由自動(dòng)機(jī)對(duì)應(yīng)于所述在線(xiàn)測(cè)量高分辨率線(xiàn)性量規(guī)傳感器。

滾珠花鍵軸承的采用和新光學(xué)系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)使得實(shí)現(xiàn)高分辨率和環(huán)境性能成為可能。

檢測(cè)信號(hào)可以用方波輸出（線(xiàn)路驅(qū)動(dòng)器輸出）提取，因此可以直接連接到PLC。

GS-3813B / 3830B線(xiàn)性傳感器與DG-5100數(shù)字儀表計(jì)數(shù)器配合使用

DG-5100數(shù)字儀表計(jì)數(shù)器

DG-5100是一款輸入頻率為3 MHz的高速計(jì)數(shù)器。
通過(guò)采用選件卡，可以以低成本實(shí)現(xiàn)比較器功能，模擬輸出功能，RS-232C通信功能等必要功能。

詳情產(chǎn)品介紹 

特點(diǎn)

■與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，可以進(jìn)行更的測(cè)量
（分辨率10倍1μm→0.1μm）

■軸承壽命比傳統(tǒng)產(chǎn)品長(zhǎng)3倍
（測(cè)量操作500萬(wàn)次→1500萬(wàn)次）

■與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，增強(qiáng)了
防塵，防水，防油性能（防護(hù)結(jié)構(gòu)IP64→IP66G）

■振動(dòng)和沖擊性能是傳統(tǒng)產(chǎn)品的兩倍
（抗振性98 m / s ²，耐沖擊性980 m / s ² →抗振性196 m / s ²，耐沖擊性1960 m / s ²）

應(yīng)用實(shí)例

高精度測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)中使用的玻璃部件，如激光

激光設(shè)備等的玻璃部件在拋光過(guò)程中用接觸式高精度線(xiàn)性規(guī)進(jìn)行尺寸檢查，以確保中間過(guò)程的精度，并在終過(guò)程中送到光學(xué)檢查過(guò)程。

硅片厚度測(cè)量，精度為1μm

使用高精度線(xiàn)性傳感器，測(cè)量硅晶片的厚度，精度為1μm。ST-0230量規(guī)支架適用于小于4英寸的小型晶圓。

高精度厚度測(cè)量翹曲材料，如硅片

它地測(cè)量具有類(lèi)似硅晶片的翹曲的板狀材料的厚度。為了不受翹曲的影響，請(qǐng)使用一個(gè)特殊的支架，其結(jié)構(gòu)接收GS-3813B測(cè)量傳感器的測(cè)量元件與“凸透鏡”碰撞的部分，并用銷(xiāo)釘支撐其他四個(gè)點(diǎn)。
通過(guò)將GS-3813B測(cè)量傳感器的傳感器中心與凸透鏡的中心對(duì)齊，可以在幾乎不受翹曲影響的情況下測(cè)量厚度。可以通過(guò)RS-232C接口將測(cè)量數(shù)據(jù)加載到PC中來(lái)執(zhí)行諸如統(tǒng)計(jì)處理之類(lèi)的二次數(shù)據(jù)處理。

大綱規(guī)范

※1使用我們的儀表計(jì)數(shù)器時(shí)，括號(hào)中的數(shù)值是使用DG-5100時(shí)的電氣響應(yīng)速度。 
※2橫向（10°C以下）或以上使用時(shí)，主軸可能無(wú)法*返回。 
※3這是改造時(shí)能夠向上使用的變更范圍。（數(shù)值是向下方向的測(cè)量功率） 
* 4測(cè)量期間的振動(dòng)和沖擊阻力不保證所述值。 
* 5如果在中間斷開(kāi)或修改信號(hào)電纜，CE標(biāo)記不符合要求。