激光全息光柵測(cè)微儀542-716 LGH-1010C-B-EH

激光全息光柵測(cè)微儀542-716 LGH-1010C-B-EH

 542 系列 激光全息光柵式測(cè)微儀
LGH (0.01μm 分辨力、0.005μm 分辨力)

 光柵式測(cè)微儀
●支持自動(dòng)化儀表及量具的配套使用

 分辨力0.01μm、指示精度0.2μm 類型
貨號(hào)542-715 (標(biāo)準(zhǔn)型) 542-716 (低測(cè)力型)
型號(hào)LGH-1010-B-EH LGH-1010C-B-EH
測(cè)量范圍10mm
分辨力0.01μm (0.05μm, 0.1μm, 0.5μm, 1μm 用計(jì)數(shù)器可切換)
指示精度(20ºC)*1 0.2μm
重復(fù)精度(20ºC)*1 0.1μm (2σ)
量化誤差(20ºC)*1 0.1μm
測(cè)力
測(cè)桿朝下0.65N 以下約0.12N
測(cè)桿水平0.55N 以下不可使用
測(cè)桿朝上0.45N 以下不可使用
位置檢出方式光電反射型線性編碼器
響應(yīng)速度通常測(cè)量時(shí)：700mm/sec 峰值檢測(cè)時(shí)：120mm/sec
重量約370g
測(cè)頭硬質(zhì)合金Sø3mm (M2.5 (P=0.45) × 5mm) 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭No.901312
裝夾套筒ø15mm
軸承類型高精度線性滾珠軸承
輸出電纜長(zhǎng)度約2m
運(yùn)行溫度(濕度) 范圍0Cº ～ 40Cº (基準(zhǔn)溫度20Cº) / 20 ～ 80%RH (無(wú)冷凝)
存儲(chǔ)溫度(濕度) 范圍− 10Cº ～ 60Cº / 20 ～ 80%RH (無(wú)冷凝)
計(jì)數(shù)器規(guī)格
顯示范圍±999.99999mm
功能調(diào)零、預(yù)調(diào)、方向轉(zhuǎn)換、公差判定(3 段/ 5 段)、RS-RINK
峰值保持功能○
接口RS-232C、USB (SENSORPAK 、Digimatic 輸出(打印機(jī)：僅限D(zhuǎn)P-1VA LOGGER)*3，I / O 電纜
外部出力? RS-232C ：計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)· Digimatic 輸出：計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)*3
? I / O 電纜：計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)(簡(jiǎn)易BCD)，公差判斷結(jié)果，簡(jiǎn)易模擬輸出
外部控制調(diào)零、預(yù)調(diào)、數(shù)據(jù)保持，峰值測(cè)量模式切換，峰值清零
電源附帶AC 適配器, DC+12 ～ 24V, 大700mA
功耗8.4W (大 700mA) 每個(gè)裝置的可靠供電應(yīng)在1A 以上
重量約900g (不包括AC 適配器)
標(biāo)準(zhǔn)配件
扳手(用于更換測(cè)頭)，橡膠腳墊，支架，墊圈(用于計(jì)數(shù)器)，AC 適配器，
交流電源線，DC 插頭，用戶手冊(cè)，檢驗(yàn)證書(shū)

 • ABSOLUTE線性編碼器吸納了我們*
的靜電電容和光電技術(shù)。
* ABSOLUTE光柵尺的詳盡工作原理，詳細(xì)信
息參見(jiàn)H-26頁(yè)“ 精密量?jī)x ·量具的小知識(shí)”。
• 無(wú)備用電源，因而大大降低了功耗。
• 在啟動(dòng)或斷電后不需要重新校準(zhǔn)，因而
易于操作。
• 適用于需要高精度和高速度控制的機(jī)器
的位置反饋。
• 增強(qiáng)了防機(jī)械推動(dòng)性能和抗噪音干擾性
能。

 激光全息光柵測(cè)微儀542-716 LGH-1010C-B-EH

 • 這 是一種可直接連接控制裝置的細(xì)長(zhǎng)、
封閉、兩相方波光柵尺。
• 光柵尺報(bào)警顯示功能易于維護(hù)。
• 適于您應(yīng)用的多種規(guī)格。
• 適 用于控制半導(dǎo)體制造系統(tǒng)和NC機(jī)床。